Фотолитография - определение. Что такое Фотолитография
Diclib.com
Словарь ChatGPT
Введите слово или словосочетание на любом языке 👆
Язык:

Перевод и анализ слов искусственным интеллектом ChatGPT

На этой странице Вы можете получить подробный анализ слова или словосочетания, произведенный с помощью лучшей на сегодняшний день технологии искусственного интеллекта:

  • как употребляется слово
  • частота употребления
  • используется оно чаще в устной или письменной речи
  • варианты перевода слова
  • примеры употребления (несколько фраз с переводом)
  • этимология

Что (кто) такое Фотолитография - определение

Фототравление; Оптическая литография
  • Схема основных этапов процесса фотолитографии
  • Установки центрифугирования для нанесения фоторезиста
  • Схемы 4х различных видов экспонирования. Показаны контактный метод экспонирования, экспонирование с микрозазором и проекционные методы экспонирования
  • Длины волн экспонирования в литографии

ФОТОЛИТОГРАФИЯ         
(от фото ... и литография),..1) фотомеханический способ изготовления печатной формы плоской печати на камне или металлической пластине...2) Оттиск с такой формы.
фотолитография         
ж.
Литография, основанная на применении фотографии (1).
Фотолитография         

1) специальный фотография, процесс на Фоторезистах, отличающийся высокой разрешающей способностью (См. Разрешающая способность). Цель Ф. - создать в слое фоторезиста "окна" заданной конфигурации для доступа травителя к расположенной под этим слоем полупроводниковой пластине с окисной плёнкой. Такие "окна" образуются при экспонировании фоторезиста в потоке ультрафиолетового излучения или в потоке электронов, в результате которого он теряет (негативный фоторезист) или приобретает (позитивный фоторезист) способность к растворению. Одним из многочисленных применений Ф. служит получение этим методом сотен тысяч мельчайших упорядоченно расположенных отверстий в масках цветных телевизоров. См. также Планарная технология. 2) Фотомеханический способ изготовления литографской печатной формы (см. Литография), при котором изображение с негатива копируется на светочувствительный слой, покрывающий поверхность литографского камня (или металла). После проявления копии её подвергают химической обработке, в результате которой поверхность разделяется на печатающие и пробельные элементы. В настоящее время (2-я половина 20 в.) Ф. применяется чрезвычайно редко. 3) Оттиск с литографской печатной формы, изготовленной по способу Ф.

Википедия

Фотолитография

Фотолитогра́фия — метод получения определённого рисунка на поверхности материала, широко используемый в микроэлектронике и других видах микротехнологий, а также в производстве печатных плат. Один из основных приёмов планарной технологии, используемой в производстве полупроводниковых приборов.

Суть процесса фотолитографии сводится к тому, что вначале на обрабатываемую поверхность наносится тонкая фоточувствительная полимерная плёнка (фоторезист). Затем эта плёнка засвечивается через фотошаблон с заданным рисунком. Далее проэкспонированные участки удаляются в проявителе. Получившийся на фоторезисте рисунок используется для таких технологических этапов планарной технологии, как травление, электроосаждение, вакуумное напыление и другие. После проведения одного из этих процессов оставшийся, не удалённый при проявлении, фоторезист также удаляется.

Принципиальное отличие фотолитографии от других видов литографии заключается в том, что экспонирование производится светом (видимым или ультрафиолетовым), тогда как в других видах литографии для этого используется рентгеновское излучение (рентгеновская литография), поток электронов (электронно-лучевая литография) или ионов (ионно-лучевая литография) и другое.

Наименьшие размеры деталей рисунка, достижимые в фотолитографии (разрешение), определяются: длиной волны используемого излучения, качеством применяемой при экспонировании оптики, свойствами фоторезиста и достигают 100 нм. Применение специальных методов (иммерсионная литография) теоретически позволяет получить разрешение до 11 нм.

Примеры употребления для Фотолитография
1. В производстве чипов также задействованы лазерные технологии и прежде всего - фотолитография, с помощью которой на кристалл полупроводника наносится рисунок структуры будущего чипа.
Что такое ФОТОЛИТОГРАФИЯ - определение